Track 장비의 PM(Preventive Maintenance) 항목과 주기
1. Track 장비의 PM 항목 및 주기
Track 장비의 성능 유지 및 고장 방지를 위해 아래와 같은 PM 항목들이 있습니다. PM 주기는 필요에 따라 변경할 수 있으며, 문제 발생 시 관련 항목에 대한 점검이 즉시 이루어집니다.
(1) Coater부 PM 항목과 주기
- Soft bake 온도: 월 1회 또는 이상 발생 시 온도를 확인.
- TPR(Thickness of PR): 매일 또는 이상 발생 시 PR을 코팅하고 두께를 측정.
- TPR Uniformity: 매일 또는 이상 발생 시 PR 코팅 후 균일성 확인.
- Particle: 매일 PR을 코팅 후 파티클 수 측정.
- 노즐: 매일 노즐의 오염 여부, 각도, 분사량 확인.
- Filter: 월 1회 점검하며, 신규 PR로 교체 시 함께 교체.
- Bowel Cleaning: 매일 청소.
- Drain: 주 1회 이상 점검.
- HMDS: 월 1회 보충 또는 교체.
- Robot Teaching: 월 1회 점검 및 교정.
- ARM Guide: 월 1회 점검 및 교정.
(2) Developer부 PM 항목과 주기
- Hard Bake 온도: 월 1회 이상 발생 시 온도 확인.
- Particle: 매일 PR 코팅 후 파티클 수 측정.
- 노즐: 매일 오염 여부, 각도, 분사량 확인.
- Filter: 월 1회 이상 발생 시 점검.
- Bowel Cleaning: 매일 청소.
- Drain: 매일 점검.
- Robot Teaching: 매월 점검 및 교정.
- ARM Guide: 매월 점검 및 교정.
안전 및 유의사항
- PM 진행 체크리스트 작성: PM 작업 후 모든 항목을 체크리스트에 기록.
- 보호구 착용: PM 작업 시 반드시 안전 보호구 착용.
- Sub-FAB 작업 시 주의: 다른 작업자와의 충돌 방지 및 안전 주의.
Track 장비 PM 수행 순서
- PM 작업 준비: PM 계획서 및 체크리스트 확인, 준비.
- PM 점검 실시: Particle, TPR, 노즐, 필터, Bowel 등 점검.
- 결과 보고서 작성: 작업 후 누락 및 오류 확인, 결과 보고서 작성.
- 고장 및 문제 해결: 발생 시 원인 분석, 대책 수립 및 재발 방지 조치.
경험
Track 장비 PM을 수행하면서 가장 중요하게 느낀 부분은 정기적인 점검의 중요성이었습니다. 특히, 노즐이나 필터와 같은 작은 부품 하나가 제대로 작동하지 않으면 공정 전체에 문제가 생길 수 있기 때문에, 작은 부분까지도 꼼꼼히 점검해야 한다는 것을 경험했습니다. 그리고, PM 과정에서 발견된 문제점을 개선하고 반영하는 작업이 추후 공정의 효율성을 높이는 데 큰 도움이 된다는 것을 실감했습니다.