Track 장비의 구성과 구조
(1) Track 장비의 주요 구성
Track 장비는 웨이퍼에 PR(포토레지스트)을 코팅하고, 노광된 웨이퍼를 현상(develop)하여 PR 패턴을 만드는 기능을 가지고 있습니다. 이러한 기능을 위해 Track 장비는 PR, 현상액, 제거제, HMDS, DI 물, 기타 보조약액(BARC, TARC 등)을 분배하고 처리할 수 있는 다양한 구성을 갖추고 있습니다. 주요 구성 요소로는 다음이 있습니다:
- Spin부: PR 코팅 및 현상 처리가 가능한 부위
- Bake부: 열 처리가 가능한 핫 플레이트
- Filter와 노즐부: 약액과 DI 물을 공급하는 필터와 노즐
- Robot 및 Indexer부: 웨이퍼를 이송하고 수납하는 로봇과 인덱서
(2) Track 장비의 주요 구조
Track 장비는 원래 웨이퍼를 하나씩 처리하는 구조로 설계되었습니다. 즉, 공정이 정해진 경로(track)를 따라 웨이퍼가 하나씩 이동하며 진행됩니다. 그러나 웨이퍼의 대구경화 및 생산성 향상, 공간 활용 극대화를 위해 대부분의 장비는 로봇을 이용한 웨이퍼 배분 시스템으로 교체되었습니다. 이러한 장비는 spinning, baking, 냉각 처리부, 그리고 웨이퍼 배분을 위한 카세트 인덱서와 로봇 팔로 이루어져 있어 “Coater/Developer”로 불립니다.
Set-up 용어 이해
- Grating Marking
클린룸 바닥의 그레이팅에 설치할 위치를 표시하고 커팅하여 장비 세팅 위치를 정하는 작업. - Set & Leveling
장비 본체와 제어 캐비닛, 화학 캐비닛 등을 세팅하고 수평을 맞추는 작업. - 조립
본체와 전기, 배관, 전원, 유틸리티를 연결하는 작업. - Teaching
주요 모듈 간의 상호 작동과 웨이퍼 위치 등이 정확하게 이루어지는지 점검하는 작업. - Trouble Shooting
주요 모듈과 유틸리티, 화학물질 공급을 점검하고 이상이 있을 경우 이를 해결하는 작업.
안전 및 유의사항
- UV 보호: 노광 장비 사용 시 UV로 인한 눈과 피부 손상을 방지.
- 기계적 보호: 웨이퍼 핸들링 중 발생할 수 있는 기계적 위험에 대비.
- 커뮤니케이션: 공동 작업자와 명확한 소통을 통해 혼란 방지.
- 공간 중복 주의: 다른 설비 작업자와 작업 공간이 중복되지 않도록 주의.
- 안전 관리 준수: 공장 단위 안전관리 지침 및 긴급 통지에 유의.
Track 장비 Set-up 수행 순서
- Set-up 계획서 작성: 장소, 일정, 준비 사항, 실행 항목 등을 포함한 계획서 작성.
- 장비 위치 결정: FAB 내 장비 위치를 정하고, 그레이팅에 마킹.
- Sub-FAB 작업: 다른 작업자와의 충돌 방지 및 사고 예방 조치.
- 그레이팅 커팅 작업: 위치에 맞게 그레이팅을 커팅.
- Set & Leveling: 장비 세팅과 수평 맞추기.
- 조립 작업: 전기, N2, 에어, PCW 등의 유틸리티 연결.
- Utility 점검: 환경안전 감시자 입회하에 유틸리티 점검 및 활성화.
- 장비 작동 검사: 사용자 인터페이스, 웨이퍼 위치, 필터, 노즐 등 점검.
- 공정 검사: 정상적 가동을 보증하기 위해 공정 체크 및 테스트 진행.
- Set-up 완료 보고서 작성: 작업 진행 상황을 기록하고 보고서 작성.
경험
Track 장비의 설치 및 셋업 과정에서 가장 중요했던 것은 정확한 레벨링과 조립 작업이었습니다. 특히, 로봇의 동작이 원활하지 않으면 웨이퍼를 손상시킬 수 있어 매우 신경을 썼습니다. 설치 작업 중 하나라도 놓치면 이후 공정에서 큰 문제가 발생할 수 있기 때문에, 작업 전 꼼꼼한 계획과 작업 후 철저한 검사가 필수적이었습니다. 이런 과정에서 협력과 소통이 중요하다는 것을 다시 한번 깨닫게 되었습니다.