[반도체 MI 장비 운영 2탄] 빛의 이해

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[반도체 MI 장비 운영 1탄] 측정 종류

반도체 제조 공정에서 사용되는 박막의 두께를 측정하는 것은 매우 중요한 작업이며, 다양한 측정 방법이 존재합니다. 박막은 스퍼터링(sputtering), 화학 증착(chemical vapor

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