노광장비 유지관리를 위한 예방활동 (PM: Preventive Maintenance)
1. PM의 의미
예방활동(PM)은 노광장비의 성능을 유지하고 고장을 사전에 방지하며 장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시키기 위해 실시하는 일련의 작업입니다. 주기적인 성능 점검, 부품 교체, 청소 등의 활동을 통해 장비가 최상의 성능으로 가동될 수 있도록 유지합니다.
PM 활동을 통해 장비의 상태를 지속적으로 모니터링하며, 기준에 맞지 않는 사항이 발생할 경우 즉각적으로 조치를 취합니다. 또한, PM 일지를 작성하여 고장 또는 이상 발생 시 원인 분석, 영향 평가, 조치 사항 및 결과를 보고하며, 이를 통해 지속적인 개선 활동을 진행합니다.
2. PM 개선활동
PM 활동 중 부적절하거나 비효율적인 점이 발견되면, 개선 절차를 통해 항목, 방법, 주기 등을 수정합니다. 새로운 기술이 도입되거나 기존 방법이 비효율적일 경우, 이를 반영하여 PM 방법을 개선하는 것이 기술자의 의무입니다.
3. 통계적 지식
PM 활동에서 수집된 데이터를 통계적으로 분석하여 장비의 이상 값과 추세를 진단하고, 이를 바탕으로 예측과 진단을 통해 장비 유지관리를 체계적이고 과학적으로 수행합니다. 통계적 데이터를 활용해 정보를 공유하고 개선 사항을 반영합니다.
노광장비의 PM 항목과 주기
노광장비는 고도의 정밀성을 요구하는 장비로서, 환경 조건(온도, 습도, 기압 등)에 민감합니다. 미세먼지나 입자 등의 철저한 제거 및 청정도 유지를 위해 주요 PM 항목과 주기를 준수해야 합니다.
1. 주요 PM 항목 및 주기
- 조명계: 노광기의 성능을 결정하는 가장 중요한 부분입니다. 초미세 패턴이 웨이퍼에 정확하게 구현되도록 조명계의 왜곡(distortion)과 정렬(misalignment)을 주기적으로 점검합니다. 주요 PM 항목은 다음과 같습니다:
- Auto Focus Check: 매일 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Lens Distortion Check: 매일 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Reticle Rotation Check: 매월 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Orthogonal (ORT) Check: 매월 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Reticle Blind Check: 매월 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Stepping Check: 매월 또는 이상 발생 시, Dummy wafer를 이용해 값을 확인합니다.
- Lamp Uniformity / Intensity Check: 2개월에 한 번 또는 이상 발생 시, 램프 수명이 다한 것으로 판단될 때 실시합니다.
- 레티클 스테이지(Reticle Stage): 매월 단위로 예방 점검하며, 오염 상태와 기계적인 동작을 점검합니다. 문제가 발생하면 매일 점검할 수도 있습니다.
- 웨이퍼 스테이지(Wafer Stage): 매월 단위로 예방 점검하며, 스테이지 모터 스크류 등의 오염 상태와 기계적인 동작을 점검합니다. 문제가 발생하면 매일 점검할 수도 있습니다.
PM 활동의 중요성
예방 활동을 철저히 수행하면 장비의 성능을 장기적으로 유지하고, 고장이나 이상 발생을 최소화할 수 있습니다. 이를 통해 생산성 향상뿐만 아니라 불필요한 비용을 절감할 수 있습니다. PM 활동에서 발생하는 모든 데이터를 체계적으로 관리하고, 이를 바탕으로 지속적인 개선 활동을 통해 장비의 효율성을 극대화할 수 있습니다.